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沈陽“芯”產業發展勢頭強勁
????“拓荊科技是沈陽集成電路產業整體發展的一個縮影，目前，沈陽已經聚集瞭一批優質的集成電路裝備生產龍頭企業，他們各具特色，並在國內集成電路產業嶄露頭角。”市科技局相關負責人介紹說，在沈陽，沈陽富創精密公司成為國內唯一IC裝備精密零組件全制程工藝解決方案提供商，形成瞭以鋁合金零部件制造技術為核心，面向半導體和航空兩大領域，成為中國精密、超精密制造的典范；沈陽中科儀的真空幹泵已經在國內12英寸主流生產線上得到推廣應用，實現瞭進比基尼線除毛｜比基尼線除毛推薦口替代，成為國內唯一能夠為集成電路工藝設備制造廠商和FAB工廠批量生產真空幹泵的廠傢；沈陽芯原微電子的勻膠顯影設備已經占領國內市場份額均超過60%，成為中國半導體生產線上的主力設備……
????“下一步，沈陽將以國傢集成電路裝備高新技術產業化基地為支撐，突出沈陽集成電路產業集群發展，將壯大現有企業、引進上下遊關聯企業以及衍生產業發展作為發展方向，為沈陽裝備制造業轉型升級奠定堅實基礎。”據介紹，根據沈陽市對集成電路及相關產業的規劃，到2020年，沈陽集成電路產業發展規模將達到100億元，其中整機裝備制造達到30億元、零部件及配套達到60億元、材料達到10億元。通過進一步做強集成電路裝備本土龍頭企業、並購國內外相關企業，持續拓展沈陽集成電路產業空間、打造產業高地，未來，沈陽將成為面向全球集成電路裝備產業鏈的研發、生產和供應基地。
????3月28日，在沈陽拓荊科技有限公司位於渾南區水傢900號的新廠區，走進企業的超潔凈工區內，穿戴隔離防護服的技術人員正在采用特殊化學方法，在矽晶片表面鍍一層固態薄膜。拓荊公司的核心產品之一PECVD（等離子體化學氣相沉積設備）是芯片制造生產線上的關鍵設備之一，以前完全被少數發達國傢壟斷，在千人計劃專傢、海歸博士薑謙等專傢的帶領下，拓荊僅用5年就實現瞭首臺設備的投產應用，成為國內IC領域唯一的PECVD設備供應商。
????政府有形之手
????集成電路產業技術門檻高、投資大、壟斷多，突破與追趕並不容易，需要政府“有形之手”聚合各方面的力量。近兩年間，沈陽市相繼出臺政策支持集成電路產業發展，2017年年初，沈陽著手對2013年印發的《沈陽市人民政府關於加快推進IC裝備產業發展的實施意見》進行修訂，並對接市經信委出臺的《沈陽集成電路裝備及相關產業發展規劃（2017-2025年）》，於12月24日以市政府名義發佈瞭《沈陽市人民政府關於加快推進IC裝備及相關產業發展的實施意見》，從科技創新、產業發展、環境營造、人才培育四個方面提出加快推進IC裝備及相關產業發展的相關工作，進一步指導沈陽市集成電路裝備及相關產業創新發展。??
新浪新聞公眾號
????“集成電路裝備生產制造業企業加速聚集的同時，沈陽擁有中科院自動化所等科研院所、高校的人才優勢，是全國集成電路領域重要的裝備產出基地。未來可以預見，集成電路裝備產業將成為沈陽建設東北亞先進裝備智能制造中心的一張亮麗新名片。”市科技局負責人介紹說，在集成電路裝備制造方面，隨著國內首個12英寸半導體薄膜設備生產基地、沈陽IC裝備精密零部件公共制造平臺等項目的相繼落地，沈陽集成電路裝備生產集群的效應將不斷凸顯，集成電路產業鏈條將不斷完善，未來發展潛力無限。
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????電視、電腦、車載導航，甚至一個不起眼的U盤……日常生活中使用的電子產品裡都藏著一枚芯片，它也被叫做集成電路。作為新一代信息技術產業的核心，集成電路是支撐經濟社會發展的戰略性、基礎性和先導性產業。這其中，生產集成電路產品的裝備是集成電路產業的基石，是推動集成電路技術創新的引擎。如今，在沈陽國傢自主創新示范區的熱土上，一批擁有“沈陽智慧”的集成電路裝備生產企業，用他們的智慧結晶讓中國的芯片制造擺脫進口，用上中國人自己的裝備。
????沈陽日報、沈報融媒記者?黃超/文
????安呈浩/攝
????海歸團隊發力?關鍵設備技術持續突破
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